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什么是真空镀膜设备

什么是真空镀膜设备#

真空镀膜设备主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜,种类很多,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等。主要思想分为蒸发和溅射。

需要镀膜的成为基材,需要镀膜的材料成为靶材。基板和靶材在同一个真空腔中。

一般而言,蒸发镀膜是通过加热靶材使表面成分以原子团或离子形式蒸发,并沉淀在基板表面,通过成膜工艺(散射岛结构杂散结构层生长)形成薄膜。对于溅射镀膜,可以简单的理解为靶材受到电子或高能激光的轰击,表面成分以原子团或离子的形式被溅射出来,最后沉积在基材表面,经历成膜成型。

真空镀膜设备使用流程 #

1 电控柜的操作 #

1)水泵、气源

2) 打开主电源

3) 打开维修泵和真空计的电源,真空计的V1位置,等待数值小于10,然后进入下一步操作。大约需要 5 分钟。

4)打开机械泵,预抽,涡轮分子泵通电,开机,真空表开关切换到V2位置,抽到小于2,约20分钟。

5)涡轮分子泵读数达到250后,关闭预抽,打开前置单元和高位阀继续抽真空,抽真空到一定程度后,右侧高真空表才能打开。观察真空度。当真空度达到2×10-3时,即可开机。

2 关机顺序

1) 关闭高真空计和分子泵。

2)当分子泵显示到50时,依次关闭高位阀、前级和机械泵,大约需要40分钟。

3)当低于50时,再次关闭维护泵。

真空镀膜设备应用范围 #

  • 数控刀具:各类铣刀、丝锥、钻头、滚齿刀、拉刀、刀片、模切刀
  • 各类模具:冲压模具、成型模具、压铸模具等
  • 精密零件:各类传动、耐磨等精密零件,不增加工件尺寸
  • 功能膜:医疗灭菌、绝缘及导电、高温防氧化等,不增加工件尺寸或有耐磨要求
  • 建筑五金:卫浴五金(如水龙头)、门锁、门把手、卫浴、门锁、五金合页、家具等。
  • 制表业:可用于表壳和表带的涂层和水晶制品。
  • 其他五金:皮革五金、不锈钢餐具、眼镜架、刀具、模具等。
  • 大型工件:汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。
  • 不锈钢管材和板材(各种表面)
  • 家具、灯具、酒店电器
  • 锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、血液等五金制品均镀有超硬装饰膜。
  • 眼镜、首饰等饰品镀有超耐磨装饰(金银)纳米膜、纳米膜和纳米复合膜。

维护保养方法 #

真空镀膜设备每完成200次镀膜工序,需要对工作室进行一次清扫。定期对各类传感设备、仪器仪表、真空泵校准,密封圈、电阻丝等耗材更换。对真空镀膜设备的周期性、制度化的保养,是真空镀膜设备品质稳定的核心要素之一。

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