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KOBELCO AIP-S系列
KOBELCO AIP-S系列

KOBELCO AIP-S系列

自发布以来,“AIP®-S系列”在20多年来一直深受客户的喜爱。
简化设备的基本设计,大幅降低发生故障的风险,同时,将重要的设备和组件露出来,减少维护时的工作量。凭借非常高的可靠性,许多客户都会追加购买“AIP®-S系列”。
到目前为止,已经交付300多台。广泛用于以工具制造商为主的各种行业。
设备产品阵容分为三种:“用于研发”、“用于中等规模生产”和“用于大规模生产”。可根据具体用途选择。

 

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设备特点

  1. 可根据客户的要求定制设备
    可根据所需的涂层性能,变更各种规格,例如蒸发源的种类和数量、涂层分布、涂层速度等。还可根据客户的预算进行定制。
  2. 蒸发源详情
    除了CE和UL标准,还可满足客户自己的安全标准
    可根据海外安全标准变更规格。此外,对于客户公司自己规定的内部安全标准,也可以根据要求应对。
  3. 可根据设备安装环境灵活地配置设备
    即使在安装空间有限的情况下,也可以灵活地应对,例如在外部安装电源、泵等辅助设备。
  4. 设计结构时已充分考虑可维护性
    采用面板等不覆盖电源或泵的结构,重要零部件的可维护性显著提高。此外,采用两侧打开的腔室门,缩短了批次之间的维护时间。

技术优势-电弧蒸发源产品阵容

自从开始PVD事业以来,神户制钢所一直致力于开发核心技术――――"蒸发源"。
S系列中,涵盖了具有不同特点的四种蒸发源。可从普通阴极(NC)、超级阴极(SC)、精细阴极(FC)、超精细阴极(SFC)中,选择适合不同用途的蒸发源。
此外,还可根据要应用的用途、客户的业务内容等推荐适合的蒸发源,定制设备(变更设计和规格)。

ノーマルカソード、スーパーカソード、ファインカソード、スーパーファインカソードのそれぞれ特徴のある4タイプの蒸発源

用于ta-C涂层的电弧蒸发源

AIP系列 AIP-S20 AIP-S40 AIP-S60
安装空间 5m×2m 6m×6m 7m×7m
工件装夹空间 Φ220mm × H 120mm Φ450mm × H 500mm Φ700mm × H 700mm
电弧蒸发源 2发
(最多可添加1发×3面)
3发×2面
(最多可添加3发×4面)
4发×2面
(最多可添加4发×4面)
工件转架台 Φ90×3轴 Φ130×6轴 行星式回转工作台 Φ130×12轴 行星式回转工作台
可搭载工件重量 最大15kg 最大180kg 最大360kg
代表性用途 用于研发 用于中等规模生产
工具・汽车零部件・模具(中型)
用于大规模生产
工具・汽车零部件・模具(大型)

 

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标签:KOBELCOPVD涂层设备神户制钢所

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