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工业升级 设备先行

Intelligent leadership in industrial upgrading

S系列定制分体式真空镀膜机

S系列-定制型真空镀膜机

product & project

纳狮S系列真空镀膜系统是甚于纳狮SPARK© 平台设计,蒸发镀、多弧离子镀、溅射/HIPIMS等多种等离子体技术,高度定制。

纳狮拥有20年真空镀膜服务经验,一直以技术和服务作为公司立足之本。纳狮可一站式,提供真空涂层中心筹建、生产线外围设备、真空镀膜系统、涂层品控体系、人员SOP培训、涂层工艺定向开发及终身维保服务。

  • 20年11家涂层中心,涂层加工经验丰富
  • 全品类PVD、PeCVD真空镀膜系统
  • 保姆式陪跑服务,一站式解决涂层中心运营问题

掌握核心弧源技术-高度定制

可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光斑点,较高的离化率,较小的液滴,更利于低熔点靶材的离化。

复合机的优势

  • 高沉积率
  • 沉积多组分涂层
  • 沉积多结构涂层

双刻蚀技术,大幅提升结合力

基于超过 20 年的持续运行和改进,Naxau 已经开发了一种专利的等离子体刻蚀技术 SET© 和 CET© 。在镀膜之前,对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面,对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物,如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面,打开分子链,促使涂层过程中离子键结合。

交钥匙工程

turnkey project

一站式提供真空镀膜设备、涂层工艺、外围生产设备建议、人员培训、厂房规划等全套涂层厂量产方案。