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可调式阴极模块

可调式阴极模块

分类:涂层关键技术 634 0

 

APC 阴极模块

APC阴极电弧

可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光斑点,较高的离化率,较小的液滴。更利于低熔点靶材的离化,尤其适用于AlCrN基涂层制备。

AFC阴极模块

通过调整阴极磁场的布局,改变水平磁场和轴向磁场分量,确保弧光跑动速度和细化。先进的高能离子源可有效减少涂层液滴,满足大多数单层,多层,纳米层的涂层生产。尤其在3C铣刀领域表现突出。
AFC阴极电弧
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