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多弧溅射

  • 可调式阴极模块

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      APC 阴极模块 可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光斑点,较高的离化率,较小的液滴。更利于低熔点靶材的离化,尤其适用于AlCrN基涂层制备。 AFC阴极模块 通过调...

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