替代Au焊锡溅射工艺及设备

高可靠性高功率器件焊锡溅射（取代Au溅射）技术及设备，可实现材料成本减半 工业控制及自动化、新能源汽车、电机节能、太阳能风能发电等领域需要各种类型的功率器件，功率器件制造流程，硅片的欧姆接触层，采用高可靠性焊锡溅射取代纯金溅射工艺，可以实现材料...