HPPMS大功率脉冲磁控溅射PVD涂层技术

2018年11月28日 2230

参考： 高功率脉冲磁控溅射（HPPMS），也称为高功率脉冲磁控溅射（HIPIMS）是基于磁控溅射沉积的PVD涂层技术。HPPMS利用kW / cm 2量级的极高功率密度在小于10％的低占空比（开/关时间比）下，以数十微秒的短脉冲（脉冲）为单位。HPPMS的显着特征是溅射金属的高度电离...

查看全文