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刻蚀模块

刻蚀模块

分类:涂层关键技术 404 0

SET刻蚀模块

侧面氩离子体清洗系统确保涂层有效区域刻蚀均匀性为±10%, 刻蚀速率250nm/h,有效祛除基体材料表面微氧化层,增强涂层与基材结合力。

 

MET刻蚀模块

金属刻蚀可以增强硬质涂层与基材结合力。通过调整阴极磁场设计,确保阴极在低电流条件下工作,控制金属刻蚀的能量。低电流的金属刻蚀可以有效减少刀工具烧蚀风险。

刻蚀模块

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