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替代Au焊锡溅射工艺及设备
研发型新技术真空镀膜设备 3385
高可靠性高功率器件焊锡溅射(取代Au溅射)技术及设备,可实现材料成本减半
工业控制及自动化、新能源汽车、电机节能、太阳能风能发电等领域需要各种类型的功率器件,功率器件制造流程,硅片的欧姆接触层,采用高可靠性焊锡溅射取代纯金溅射工艺,可以实现材料成本减半。
热循环测试、1个循环:-40°C×30min,125°C×30min。焊锡溅射在1000个循环结束后,仍获得了与常规工艺相同甚至更好的接合强度。
假设常规工艺的膜材料成本为1,对无Au新工艺的成本进行了估算,与传统的Au溅射相比,焊锡溅射可以降低约50%的膜材料成本。
多样的设备构成方案:可以根据膜种和要求提供各种设备构成提案,multi cathode Carousel设备可以减少chamber数,实现成本控制。
纳狮新能源实验室,提供整厂定制真空镀膜设备工艺及设备方案。
欢迎交流和咨询。
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